一种利用光热效应实现微悬臂梁共振频率调谐的方法、实现系统及应用
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Title:一种利用光热效应实现微悬臂梁共振频率调谐的方法、实现系统及应用
Institution:晶体材料研究所
Type of Patent:发明
Application Number:2018109469855
Number of Inventors:1
Service Invention or Not:No
Application Date:2018-08-20
Release Time:2019-04-15
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Title:一种利用光热效应实现微悬臂梁共振频率调谐的方法、实现系统及应用
Institution:晶体材料研究所
Type of Patent:发明
Application Number:2018109469855
Number of Inventors:1
Service Invention or Not:No
Application Date:2018-08-20
Release Time:2019-04-15