一种利用光热效应实现微悬臂梁共振频率调谐的方法、实现系统及应用

发布时间:2019-01-26|点击次数:

所属单位:晶体材料研究所

申请号:2018109469855

发明人数:1

是否职务专利:否

申请日期:2018-08-20