一种利用紫外光致亲水性判断HVPE外延生长蓝宝石衬底GaN掺杂类型的方法

发布时间:2019-04-15|点击次数:

所属单位:晶体材料研究所

申请专利人:刘铎

专利类型:发明

申请号:2016102059329

发明人数:1

是否职务专利:否

申请日期:2016-04-05

公开日期:2018-08-03

授权日期:2018-08-03