专利名称:一种利用局域等离激元结构提高光热激发微悬臂梁振动能量转换效率的方法
所属单位:晶体材料研究所
专利类型:发明
申请号:2017101785169
发明人数:1
是否职务专利:否
申请日期:2017-03-23
发布时间:2019-04-15
专利名称:一种利用局域等离激元结构提高光热激发微悬臂梁振动能量转换效率的方法
所属单位:晶体材料研究所
专利类型:发明
申请号:2017101785169
发明人数:1
是否职务专利:否
申请日期:2017-03-23
发布时间:2019-04-15