一种利用局域等离激元结构提高光热激发微悬臂梁振动能量转换效率的方法

发布时间:2019-04-15|点击次数:

所属单位:晶体材料研究所

申请专利人:刘铎

专利类型:发明

申请号:2017101785169

发明人数:1

是否职务专利:否

申请日期:2017-03-23