专利名称:一种微悬臂梁传感器的共振激发方法
所属单位:晶体材料研究院(晶体材料全国重点实验室)
专利类型:发明
申请号:201210104927.0
发明人数:1
是否职务专利:否
申请日期:2012-04-11
公开日期:2014-04-30
授权日期:2014-04-30
发布时间:2019-04-15
专利名称:一种微悬臂梁传感器的共振激发方法
所属单位:晶体材料研究院(晶体材料全国重点实验室)
专利类型:发明
申请号:201210104927.0
发明人数:1
是否职务专利:否
申请日期:2012-04-11
公开日期:2014-04-30
授权日期:2014-04-30
发布时间:2019-04-15