一种微悬臂梁探针二阶共振激发装置

发布时间:2019-04-15|点击次数:

所属单位:晶体材料研究所

申请专利人:刘铎

专利类型:发明

申请号:201210208242.0

发明人数:1

是否职务专利:否

申请日期:2012-06-21

公开日期:2014-06-18

授权日期:2014-06-18