专利名称:一种利用发光二极管阵列实现微悬臂梁高阶共振激发的方法及应用
所属单位:晶体材料研究院(晶体材料全国重点实验室)
专利类型:发明
申请号:2015100148287
发明人数:1
是否职务专利:否
申请日期:2015-01-12
公开日期:2018-02-13
授权日期:2018-02-13
发布时间:2019-04-15
专利名称:一种利用发光二极管阵列实现微悬臂梁高阶共振激发的方法及应用
所属单位:晶体材料研究院(晶体材料全国重点实验室)
专利类型:发明
申请号:2015100148287
发明人数:1
是否职务专利:否
申请日期:2015-01-12
公开日期:2018-02-13
授权日期:2018-02-13
发布时间:2019-04-15