基于二次谐波增强的氮化镓器件富镓缺陷检测方法

发布时间:2025-06-12|点击次数:

所属单位:新一代半导体材料研究院

专利类型:发明

申请号:202411803123.9

发明人数:1

是否职务专利:否

申请日期:2024-12-10

公开日期:2025-03-07

授权日期:2025-03-07