专利名称:共振激励微谐振器获得高频率稳定性边带的方法
所属单位:新一代半导体材料研究院
专利类型:发明
申请号:202510059304.3
发明人数:1
是否职务专利:否
申请日期:2025-01-15
公开日期:2025-05-16
授权日期:2025-05-16
发布时间:2025-07-16
专利名称:共振激励微谐振器获得高频率稳定性边带的方法
所属单位:新一代半导体材料研究院
专利类型:发明
申请号:202510059304.3
发明人数:1
是否职务专利:否
申请日期:2025-01-15
公开日期:2025-05-16
授权日期:2025-05-16
发布时间:2025-07-16