共振激励微谐振器获得高频率稳定性边带的方法

发布时间:2025-07-16|点击次数:

所属单位:新一代半导体材料研究院

专利类型:发明

申请号:202510059304.3

发明人数:1

是否职务专利:否

申请日期:2025-01-15

公开日期:2025-05-16

授权日期:2025-05-16