利用内共振提升微谐振器模态振幅和温度灵敏度的方法

发布时间:2025-07-16|点击次数:

所属单位:新一代半导体材料研究院

专利类型:发明

申请号:202411942039.5

发明人数:1

是否职务专利:否

申请日期:2024-12-27

公开日期:2025-04-25

授权日期:2025-04-25