低温等离子体辅助MOCVD技术制备AlInN薄膜材料的生长及掺杂特性研究
发布时间：2019-04-18
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- 所属单位：
- 物理学院
- 负责人姓名：
- 计峰
- 项目来源单位：
- 国家基金委
- 项目性质：
- 纵向
- 项目级别：
- 国家级
- 项目参与人员：
- 计峰,宗福建,栾彩娜,张锡健
- 项目编号：
- kyxm-14368
- 立项时间：
- 2011-01-01
- 计划完成时间：
- 2013-12-31
- 结项日期：
- 2013-12-31
- 开始日期：
- 2011-01-01
- 项目批准号：
- 51072101