低温等离子体辅助MOCVD技术制备AlInN薄膜材料的生长及掺杂特性研究
点击次数：
所属单位：物理学院
负责人姓名：计峰
项目来源单位：国家基金委
项目性质：纵向
项目级别：国家级
项目参与人员：计峰,宗福建,栾彩娜,张锡健
项目编号：kyxm-14368
项目批准号：51072101
立项时间：2011-01-01
开始日期：2011-01-01
计划完成时间：2013-12-31
结项日期：2013-12-31
高级实验师 硕士生导师
性别：女
毕业院校：山东大学
学历：研究生(博士)毕业
学位：博士
在职信息：在职
所在单位：集成电路学院
入职时间：2005-07-16
学科：微电子学与固体电子学
低温等离子体辅助MOCVD技术制备AlInN薄膜材料的生长及掺杂特性研究
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所属单位：物理学院
负责人姓名：计峰
项目来源单位：国家基金委
项目性质：纵向
项目级别：国家级
项目参与人员：计峰,宗福建,栾彩娜,张锡健
项目编号：kyxm-14368
项目批准号：51072101
立项时间：2011-01-01
开始日期：2011-01-01
计划完成时间：2013-12-31
结项日期：2013-12-31