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Lift-Off Mechanism of GaN Thin Films with Buried Nanocavities Investigated by SEM and TEM

发布时间:2019-06-06
点击次数:
所属单位:
微电子学院
发表刊物:
Journal of Electronic Materials
全部作者:
毛宏志,栾彩娜,刘建强,马瑾
第一作者:
肖洪地
论文类型:
基础研究
论文编号:
DBE67F01DB544898847C76A91BEC549C
卷号:
48
页面范围:
3036
是否译文:
发表时间:
2019-02-01