所属单位：

微电子学院

发表刊物：

Journal of ELECTRONIC MATERIALS

全部作者：

毛宏志,栾彩娜,刘建强,马瑾,肖洪地

第一作者：

杨小坤

论文类型：

应用研究

论文编号：

9600585BF2564969BC16220CA429D8C2

卷号：

48

期号：

5

页面范围：

3036

是否译文：

否

发表时间：

2019-05-01