Effect of epitaxial growth rate on morphological, structural and optical properties of beta-Ga2O3 films prepared by MOCVD
发布时间:2022-06-18
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- 所属单位:
- 微电子学院
- 发表刊物:
- Materials Research Bulletin
- 第一作者:
- 王迪
- 论文编号:
- 4D4D953CCFCB46E68E85AE80D961AD64
- 卷号:
- 149
- 字数:
- 5
- 是否译文:
- 否
- 发表时间:
- 2022-05-01