Heteroepitaxial growth of the δ-Ta2O5 films on a-Al2O3(0001)
点击次数：
所属单位：微电子学院
发表刊物：Journal of Materials Science-Materials in Electronics
第一作者：马瑾
论文编号：82B66AFBC45F46DE928D3AE918047B0B
期号：33
字数：4
是否译文：否
发表时间：2022-01-18
发表时间：2022-01-18
高级实验师 硕士生导师
性别：女
毕业院校：山东大学
学历：研究生(博士)毕业
学位：博士
在职信息：在职
所在单位：集成电路学院
入职时间：2005-07-16
学科：微电子学与固体电子学
Heteroepitaxial growth of the δ-Ta2O5 films on a-Al2O3(0001)
点击次数：
所属单位：微电子学院
发表刊物：Journal of Materials Science-Materials in Electronics
第一作者：马瑾
论文编号：82B66AFBC45F46DE928D3AE918047B0B
期号：33
字数：4
是否译文：否
发表时间：2022-01-18
发表时间：2022-01-18