Title of Project : 可用于下一代光电器件的Beta-氧化镓单晶薄膜的制备及性质研究

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Project Name:可用于下一代光电器件的Beta-氧化镓单晶薄膜的制备及性质研究

Affiliation of Participant(s):集成电路学院

Leading Scientist:肖洪地

Supported by:2018年山东省重点研发计划（公益性科技攻关类）

Nature of Project:纵向

Project level:省、部委级

Project Number:kyxm-69244

Date of Project Approval:2018-04-01

Scheduled completion time:2020-12-31

Date of Project Completion:2020-12-31

Date of Project Initiation:2018-04-01

Project Approval Number:2018GGX102024