所属单位：

物理学院

论文名称：

Atomic layer deposition of an Al2O3 dielectric on ultrathin graphit by using electron beam irradiation

发表刊物：

Journal of Semiconductors

第一作者：

蒋然

全部作者：

孟令国,张锡健

论文类型：

应用研究

论文编号：

lw-140562

卷号：

33

期号：

9

页面范围：

093004-1

是否译文：

否

发表时间：

2012-09

发布时间：

2019-04-14