Atomic layer deposition of an Al2O3 dielectric on ultrathin graphit by using electron beam irradiation
发布时间：2019-10-22
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- 所属单位：
- 物理学院
- 发表刊物：
- Journal of Semiconductors
- 全部作者：
- 孟令国,张锡健
- 第一作者：
- 蒋然
- 论文类型：
- 应用研究
- 论文编号：
- lw-140562
- 卷号：
- 33
- 期号：
- 9
- 页面范围：
- 093004-1
- 是否译文：
- 否
- 发表时间：
- 2012-09-10