基于增强异常光学透射的太赫兹器件及其制备方法
发布时间：2021-06-08
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- 专利名称：
- 基于增强异常光学透射的太赫兹器件及其制备方法
- 所属单位：
- 集成电路学院
- 专利类型：
- 发明
- 申请号：
- 202110281353.3
- 发明人数：
- 1
- 是否职务专利：
- 否
- 申请日期：
- 2021-03-16
- 公开日期：
- 2022-03-08
- 授权日期：
- 2022-03-08
- 发布时间：
- 2021-06-08
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