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基于Fano共振耦合谐振腔太赫兹波导传感器件及其制备方法

发布时间：2021-06-09
点击次数：
专利名称：
基于Fano共振耦合谐振腔太赫兹波导传感器件及其制备方法
所属单位：
集成电路学院
专利类型：
发明
申请号：
202110523291.2
发明人数：
1
是否职务专利：
否
申请日期：
2021-05-13
公开日期：
2022-04-12
授权日期：
2022-04-12
发布时间：
2021-06-09

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