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一种基于腔模共振的太赫兹传感器及其制备方法

发布时间：2023-04-01
点击次数：
专利名称：
一种基于腔模共振的太赫兹传感器及其制备方法
所属单位：
集成电路学院
专利类型：
发明
申请号：
201911253341.9
发明人数：
1
是否职务专利：
否
申请日期：
2019-12-09
公开日期：
2023-03-14
授权日期：
2023-03-14
发布时间：
2023-04-01

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