一种基于腔模共振的太赫兹传感器及其制备方法
点击次数:
所属单位:微电子学院
专利类型:发明
申请号:201911253341.9
发明人数:1
是否职务专利:否
申请日期:2019-12-09
公开日期:2023-03-14
授权日期:2023-03-14
公开日期:2023-03-14
申请日期:2019-12-09
授权日期:2023-03-14
一种基于腔模共振的太赫兹传感器及其制备方法
点击次数:
所属单位:微电子学院
专利类型:发明
申请号:201911253341.9
发明人数:1
是否职务专利:否
申请日期:2019-12-09
公开日期:2023-03-14
授权日期:2023-03-14
公开日期:2023-03-14
申请日期:2019-12-09
授权日期:2023-03-14