Electron transport mechanism through ultrathin Al2O3 films grown at low temperatures using atomic–layer deposition
点击次数：
所属单位：微电子学院
发表刊物：SEMICONDUCTOR SCIENCE AND TECHNOLOGY
全部作者：辛倩,李玉香,宋爱民
第一作者：马鹏飞
论文类型：应用研究
论文编号：88E26D2A696048E9B15A76399673DAD1
卷号：34
期号：10
页面范围：105004
是否译文：否
发表时间：2019-09-09
发表时间：2019-09-09