Electron transport mechanism through ultrathin Al2O3 films grown at low temperatures using atomic–layer deposition
发布时间：2019-10-25 点击数：
所属单位：集成电路学院
论文名称：Electron transport mechanism through ultrathin Al2O3 films grown at low temperatures using atomic–layer deposition
发表刊物：SEMICONDUCTOR SCIENCE AND TECHNOLOGY
第一作者：马鹏飞
全部作者：辛倩,李玉香,宋爱民
论文编号：88E26D2A696048E9B15A76399673DAD1
卷号：34
期号：10
页面范围：105004
是否译文：否
发表时间：2019-07