Electron transport mechanism through ultrathin Al2O3 films grown at low temperatures using atomic–layer deposition
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所属单位:微电子学院
发表刊物:SEMICONDUCTOR SCIENCE AND TECHNOLOGY
全部作者:辛倩,李玉香,宋爱民
第一作者:马鹏飞
论文类型:应用研究
论文编号:88E26D2A696048E9B15A76399673DAD1
卷号:34
期号:10
页面范围:105004
是否译文:否
发表时间:2019-07-11
发表时间:2019-07-11