Affiliation of Author(s):微电子学院
Journal:中国科技信息
First Author:wangchengyuan
Indexed by:实验发展
Document Code:E1D941DBE8514031985346F3DE3A9B6A
Issue:2019 年第8 期
Page Number:51
Translation or Not:no
Date of Publication:2019-04-15
wangchengyuan
Lab Master
王成园，女，中共党员，山东大学集成电路学院实验师，现工作于集成电路学院集成电路工艺创新中心。日常主要负责微纳加工与测试系统等部分核心设备，总价值一千万元以上，如多套射频磁控溅射镀膜系统、等离子体增强原子层沉积系统、激光显微拉曼光谱测试系统等。 More+
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智能化高校实验室仪器预约共享管理系统
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