王倩倩
Gender:Female
Education Level:With Certificate of Graduation for Doctorate Study
Alma Mater:北京师范大学
Personal Profile
MORE+研究领域和兴趣： 设计、合成新型高端光刻胶功能材料（尤其是亚10nm尺度的金属氧簇与键合型光敏单元结构），通过对其进行精准组分/结构调控和光刻性能表征，并重点结合光谱分析技术与量化计算模拟，在分子与团簇层面系统揭示光刻胶的光化学反应-图案成型构效关系。光刻胶材料体系主要包括：光酸键合聚合物化学放大光刻胶、金属氧化物纳米颗粒/纳米团簇型电子束光刻胶、面向先进制程的极紫外光刻胶等；关注的核心工艺环节包括均匀成...
[1] 2013.09 to 2019.06
北京师范大学
| 高分子化学与物理
| Doctoral Degree in Science
[2] 2009.09 to 2013.06
山东师范大学
| Chemistry
| Bachelor's Degree in Science
[1] 2023.08 to Now
山东大学
| 国家胶体材料工程技术研究中心
[2] 2019.07 to 2023.07
清华大学
| 核能与新能源技术研究院
Research Focus
MORE+[1] 集成电路芯片制造关键材料—光刻胶