集成电路芯片制造中新型环保清洗技术及产业研发
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所属单位：物理学院
负责人姓名：王卿璞
项目来源单位：08信息产业厅
项目性质：纵向
项目级别：地(市、州)级
项目参与人员：王卿璞,王卿璞,李玉香,刘建强,肖洪地
项目编号：kyxm-4811
项目批准号：2008R0048
立项时间：2008-09-01
开始日期：2008-09-01
计划完成时间：2010-12-31
结项日期：2010-12-31
教授 硕士生导师
性别：男
毕业院校：山东大学
学历：博士研究生毕业
学位：博士
在职信息：在职
所在单位：微电子学院
入职时间：1987-07-01
职务：院党委书记、副院长
学科：微电子学与固体电子学
办公地点：高新区软件校区微电子学院3B202室
电子邮箱：wangqingpu@sdu.edu.cn
集成电路芯片制造中新型环保清洗技术及产业研发
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所属单位：物理学院
负责人姓名：王卿璞
项目来源单位：08信息产业厅
项目性质：纵向
项目级别：地(市、州)级
项目参与人员：王卿璞,王卿璞,李玉香,刘建强,肖洪地
项目编号：kyxm-4811
项目批准号：2008R0048
立项时间：2008-09-01
开始日期：2008-09-01
计划完成时间：2010-12-31
结项日期：2010-12-31