（包干项目）基于人工表面等离激元的毫米波薄膜铌酸锂电光调制器
发布时间：2025-08-15
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- 所属单位：
- 集成电路学院
- 负责人姓名：
- 张翼飞
- 项目性质：
- 纵向
- 项目级别：
- 省、部委级
- 项目编号：
- 3C0ADCA3800C0352E0635C00A8C0A0C5
- 立项时间：
- 2025-05-01
- 计划完成时间：
- 2028-04-30
- 结项日期：
- 2028-04-30
- 开始日期：
- 2025-05-01
- 项目批准号：
- ZR2024LLZ006
- 下一条：Plasma工艺技术开发