长期从事半导体薄膜电子材料和高性能薄膜型传感器应用研究,在PRB、ACS Photonics和APL等期刊发表论文50余篇,授权中国发明专利10项、授权美国发明专利1项。所开发的高性能热流传感器已经产业化,并在航空航天、武器弹药毁伤评估等20余家单位得到应用。

目前感兴趣的研究方向包括:(1) 极端环境下热场(热流和温度)传感器的设计优化和集成应用;(2) 新型核辐射探测器的研制和应用;(3) 特种功能薄膜的PVD/CVD制备、分析和应用。

课题组拥有3台磁控溅射(其中1台为自主设计带高通量附件的超高真空设备,1台大面积中试磁控溅射设备并配备有RF/DC/HiPIMS电源)、1台自主设计搭建的脉冲激光沉积镀膜仪、1台多弧离子镀、1台热蒸发等薄膜材料制备设备,以及紫外光刻机、超声焊接机、探针台、半导体分析仪、纳米压痕仪、表面接触角测试仪等较为完善的微加工和分析测试设备。