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山东大学
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吴疆
教授
所属院部:
控制科学与工程学院
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专利
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一种工作在共振状态的无电缆系留超声机器人及控制方法
所属单位:
控制科学与工程学院
专利类型:
发明
申请号:
202310119649.4
发明人数:
5
是否职务专利:
否
申请日期:
2023-02-13
公开日期:
2024-04-16
授权日期:
2024-04-16
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一种两自由度线性超声电机及其工作方法
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一种半导体加工晶圆超声悬浮驱动装置
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