吴疆
教授
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一种半导体加工晶圆超声悬浮驱动装置
  • 所属单位：
    控制科学与工程学院
  • 专利类型：
    发明
  • 申请号：
    JP202213111.5
  • 发明人数：
    5
  • 是否职务专利：
    否
  • 申请日期：
    2022-08-19
  • 公开日期：
    2023-05-01
  • 授权日期：
    2023-05-01
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