论文成果
Significant Reliability Improvement by Inducing Dual Atomic-Thin Titanium Intercalation Layers in Hf 0.5 Zr 0.5 O 2 Films
  • 所属单位:
    信息科学与工程学院
  • 发表刊物:
    IEEE Electron Device Letters
  • 第一作者:
    台路
  • 论文编号:
    A4E9F2F06382452495F07AEBDCCA061C
  • 期号:
    44(5)
  • 字数:
    3
  • 是否译文:
  • 发表时间:
    2023-05-01

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