项目名称：面向半导体缺陷检测的深紫外晶体及激光装备研发（子课题3）

所属单位：晶体材料研究院（晶体材料全国重点实验室）

负责人姓名：武奎

项目性质：纵向

项目编号：27E1E8F76A6F7162E063BE07C2CACFD4

项目批准号：2024ZLGX02-4

立项时间：2025-01-01

计划完成时间：2027-12-31

结项日期：2027-12-31

开始日期：2025-01-01

发布时间：2024-11-29