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Depth detection and fabrication of porous silicon without the stress

发布时间:2019-04-13
点击次数:
所属单位:
微电子学院
全部作者:
肖洪地,裴海燕,刘向东,马瑾
第一作者:
曹得重
论文类型:
应用研究
论文编号:
lw-198329
卷号:
362
页面范围:
557
是否译文:
发表时间:
2016-02-15