Depth detection and fabrication of porous silicon without the stress
发布时间：2019-10-25
点击次数：
- 所属单位：
- 集成电路学院
- 发表刊物：
- Applied Surface Science
- 全部作者：
- 刘向东,马瑾,肖洪地,裴海燕
- 第一作者：
- 曹得重
- 论文编号：
- lw-198329
- 卷号：
- 362
- 页面范围：
- 557
- 是否译文：
- 否
- 发表时间：
- 2016-02-15