Anodic etching of GaN based film with a strong phase-separated InGaN/GaN layer: Mechanism and properties
发布时间:2019-04-14
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- 所属单位:
- 微电子学院
- 发表刊物:
- Applied surface science
- 全部作者:
- 刘建强,马瑾
- 第一作者:
- 肖洪地
- 论文类型:
- 应用研究
- 论文编号:
- lw-185722
- 卷号:
- 387
- 页面范围:
- 406
- 是否译文:
- 否
- 发表时间:
- 2016-07-13