Depth detection and fabrication of porous silicon without the stress
发布时间：2019-10-24
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- 所属单位：
- 微电子学院
- 论文名称：
- Depth detection and fabrication of porous silicon without the stress
- 发表刊物：
- Applied Surface Science
- 第一作者：
- 曹得重
- 全部作者：
- 肖洪地,裴海燕,刘向东,马瑾
- 论文类型：
- 应用研究
- 论文编号：
- lw-198329
- 卷号：
- 362
- 页面范围：
- 557
- 是否译文：
- 否
- 发表时间：
- 2016-02
- 发布时间：
- 2019-10-24