所属单位：

微电子学院

发表刊物：

Applied Surface Science

全部作者：

刘向东,马瑾,肖洪地,裴海燕

第一作者：

曹得重

论文类型：

应用研究

论文编号：

lw-198329

卷号：

362

页面范围：

557

是否译文：

否

发表时间：

2016-02-15