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锗氮共掺碳化硅晶体杂质浓度表征及其电学性质研究: 点击次数：; 所属单位：晶体材料研究所; 发表刊物：无机材料学报; 关键字：物理气相传输法;;Ge掺杂;;晶格匹配;;欧姆接触;;迁移率; 全部作者：陈秀芳,杨祥龙,谢雪健,肖龙飞,徐现刚,胡小波; 第一作者：李天; 论文类型：基础研究; 论文编号：76917; 期号：05; 是否译文：否; 发表时间：2018-04-24

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