基于InGaZnO的肖特基源极薄膜晶体管的器件物理研究
发布时间：2019-04-18
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- 所属单位：
- 微电子学院
- 负责人姓名：
- 辛倩
- 项目来源单位：
- 省科技厅
- 项目性质：
- 纵向
- 项目级别：
- 省、部委级
- 项目参与人员：
- 辛倩,冯华钰,王一鸣
- 项目编号：
- kyxm-69065
- 立项时间：
- 2018-04-01
- 计划完成时间：
- 2021-07-01
- 结项日期：
- 2021-07-01
- 开始日期：
- 2018-03-01
- 项目批准号：
- ZR2018MF029