Electron transport mechanism through ultrathin Al2O3 films grown at low temperatures using atomic–layer deposition
发布时间：2019-10-10
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- 所属单位：
- 微电子学院
- 发表刊物：
- SEMICONDUCTOR SCIENCE AND TECHNOLOGY
- 全部作者：
- 辛倩,李玉香,宋爱民
- 第一作者：
- 马鹏飞
- 论文类型：
- 应用研究
- 论文编号：
- 88E26D2A696048E9B15A76399673DAD1
- 卷号：
- 34
- 期号：
- 10
- 页面范围：
- 105004
- 是否译文：
- 否
- 发表时间：
- 2019-09-09