所属单位：

微电子学院

发表刊物：

Journal of Vacuum Science & Technology A

全部作者：

辛倩

第一作者：

辛倩

论文类型：

基础研究

论文编号：

lw-199201

卷号：

34

页面范围：

04C101

是否译文：

否

发表时间：

2016-04-08