基于新型衬底的声表面波器件制备及其可靠性研究
点击次数:
所属单位:新一代半导体材料研究院
负责人姓名:葛磊
项目来源单位:科技型中小企业创新能力提升工程(其他来源资金)
项目性质:纵向
项目编号:266259570DAF2028E063BE07C2CA1A4C
项目批准号:2024TSGC0746
立项时间:2024-09-01
开始日期:2024-09-01
计划完成时间:2026-08-31
结项日期:2026-08-31
基于新型衬底的声表面波器件制备及其可靠性研究
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所属单位:新一代半导体材料研究院
负责人姓名:葛磊
项目来源单位:科技型中小企业创新能力提升工程(其他来源资金)
项目性质:纵向
项目编号:266259570DAF2028E063BE07C2CA1A4C
项目批准号:2024TSGC0746
立项时间:2024-09-01
开始日期:2024-09-01
计划完成时间:2026-08-31
结项日期:2026-08-31