杨旭
教授
所属院部： 海洋研究院
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Development of a novel monolithic compliant Lorentz-force-driven XY nanopositioning system
  • 所属单位：
    海洋研究院
  • 发表刊物：
    JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING
  • 第一作者：
    杨旭
  • 论文编号：
    DFD29FEB371B4FE0AEE5244E0D74CF9B
  • 卷号：
    34
  • 期号：
    055001
  • 页面范围：
    1
  • 字数：
    7
  • 是否译文：
    否
  • 发表时间：
    2024-05-01
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