面向高通量大幅面激光直写的跨尺度微纳伺服控制与动态协同方法

发布时间:2025/01/01|点击次数:

所属单位:机械工程学院

负责人姓名:闫鹏

项目性质:纵向

项目级别:国家级

项目编号:2A77E1BC2C591625E063BE07C2CADB23

立项时间:2024/11/25

计划完成时间:2028/12/31

结项日期:2028/12/31

开始日期:2025/01/01

项目批准号:U24A20109