所属单位：机械工程学院

论文名称：Development of a compact XYZ nanopositioner supporting optical scanning

发表刊物：2018 IEEE International Conference on Manipulation, Manufacturing and Measurement on the Nanoscale (3M-NANO)

第一作者：闫鹏

论文类型：基础研究

论文编号：F7B611387E9547A0996B33277A2599C5

是否译文：否

发表时间：2018-08-17