一种微位移纳米定位系统的机械特性分析与控制

发布时间:2019-04-14|点击次数:

所属单位:机械工程学院

论文名称:一种微位移纳米定位系统的机械特性分析与控制

发表刊物:Proceedings of Chinese Control and Decision Conference, 2014

第一作者:闫鹏

论文类型:基础研究

论文编号:lw-160560

页面范围:4681

是否译文:否

发表时间:2014-05-29