具有耦合补偿功能的大行程二维柔性平台

发布时间:2019-04-14|点击次数:

所属单位:机械工程学院

论文名称:具有耦合补偿功能的大行程二维柔性平台

发表刊物:光学精密工程,

第一作者:闫鹏

论文类型:应用研究

论文编号:lw-184958

卷号:24

期号:4

页面范围:804

是否译文:否

发表时间:2016-04-01