所属单位：机械工程学院

论文名称：Modeling and Analysis of a Piezoelectric-film Driven Micro-positioning Stage

发表刊物：Jiqiren

全部作者：闫鹏

第一作者：庞建伟

论文类型：基础研究

论文编号：9B735BEEDBCF40F4A69ABA6CA305D814

卷号：39

期号：5

页面范围：595

是否译文：否

发表时间：2017-06-01