H∞ control for piezo-actuated nanopositioning stages with time delays

发布时间:2019-10-25|点击次数:

所属单位:机械工程学院

论文名称:H∞ control for piezo-actuated nanopositioning stages with time delays

发表刊物:2018 IEEE International Conference on Manipulation, Manufacturing and Measurement on the Nanoscale (3M-NANO)

全部作者:闫鹏

第一作者:闫鹏,

论文类型:基础研究

论文编号:BE1B9523E82C4728A6BDAD1DB70A318A

是否译文:否

发表时间:2018-02-08