所属单位：机械工程学院

论文名称：A large range XY parallel micro-motion system with optical encoder displacement feedback

发表刊物：2018 IEEE International Conference on Manipulation, Manufacturing and Measurement on the Nanoscale (IEEE 3M-NANO 2018)

第一作者：闫鹏,闫鹏

全部作者：闫鹏

论文编号：8EA191A8D1FB49D7AFB470DBCE28A8A7

是否译文：否

发表时间：2018-08

发布时间：2019-10-25