所属单位：机械工程学院

论文名称：Planar Motion Measurement of a Compliant Micro Stage: An Enhanced Microscopic Vision Approach

发表刊物：《IEEE TRANSACTIONS ON INSTRUMENTATION AND MEASUREMENT》

第一作者：苏高照

论文编号：4D7796D03A6545E3B4C05EB18A1554FE

卷号：69

期号：5

页面范围：1930

字数：7

是否译文：否

发表时间：2020-05-01